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가스등의 반도체 재료기술과 핵심부품 등의 반도체 장비기술 및 환경처리기술은 매우 낙후되어있고 아직도 많은 부분이 해외 의존적이다. 실제로 반도체산업에서 환경유해물질 방출은 지구온난화 및 환경오염에 상당한 영향을 주고 있고 이에 대응하는 기술개발이 미국등 선진국에서 활발히 진행되고 있으나, 방출된 PFC나 VOC의 포집 및 재활용, 국내업체는 국제적 환경안전 규제동향 정보취득에 취약하며 대처능력이 수동적인 실정이다. 하지만 첨단기술로 만들어지는 반도체제조 공정과 발생되는 물질을 분석하여 보면 상당히 많은 환경저해요소를 지니고 있다. 결론 Ⅰ.hwp 문서자료 (압축문서).. 지구환경보호 차원에서 보면 반도체 제조공정에서 나오는 환경유해물질의 사용량 감소를 위한 근본적인 대책마련 및 사후처리와 폐기물에 대한 철저한 관리 및 환경 친화적인 기술개발이 매우 중요하다고 할 수 있다.반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향 레폿 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및  ......

 

 

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반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향 레폿

 

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반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향

 

반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향에 대해 조사한 자료입니다. 반도체환경기술의국내외최근동향및향후기술개발방향

 

Ⅰ. 서론

 

Ⅱ. 세부 기술분야

1. Phase-I PFC방출량 저감분야

2. Phase-II 유해chemical 저감 및 관리분야

 

Ⅲ. 향후 기술개발방향

 

Ⅳ. 결론

Ⅰ. 서론

 

우리나라 반도체산업은 2000년도 기준으로 248억불을 생산하여 235억불을 수출하는 수출주도형의 주요 국가기간 산업으로 매년 20% 이상의 고속성장을 하며 국가경제를 이끌어 가는 첨단기술의 총집합체로 잘 알려져 있다. 하지만 첨단기술로 만들어지는 반도체제조 공정과 발생되는 물질을 분석하여 보면 상당히 많은 환경저해요소를 지니고 있다. 반도체 제조공정을 살펴보면 수많은 종류의 독성가스와 화공약품 및 다량의 용수 가 사용되며 이로 인하여 폐수 및 폐기물이 다량 발생되고 있는 것이다. 지구환경보호 차원에서 보면 반도체 제조공정에서 나오는 환경유해물질의 사용량 감소를 위한 근본적인 대책마련 및 사후처리와 폐기물에 대한 철저한 관리 및 환경 친화적인 기술개발이 매우 중요하다고 할 수 있다.

국내의 반도체 생산기술은 선진기술과 우위를 다투고 있는 반면 반도체 산업의 근본이 되는 소재, 시약, 가스등의 반도체 재료기술과 핵심부품 등의 반도체 장비기술 및 환경처리기술은 매우 낙후되어있고 아직도 많은 부분이 해외 의존적이다. 반도체 제조공정에서 많이 사용되는 PFC와 유해 chemical의 사용 규제가 점점 강화됨에 따라 배출량을 기준으로 사용량 제한을 받게 될 전망이며 한정된 양의 chemical과 Gas를 효율적으로 사용하기 위해서는 PFC나 유해 chemical을 사용하는 반도체장비의 개량과 교체, 방출된 PFC나 VOC의 포집 및 재활용, PFC나 유해 chemical 대체화합물 사용 등의 기술이 필요해진다. 실제로 반도체산업에서 환경유해물질 방출은 지구온난화 및 환경오염에 상당한 영향을 주고 있고 이에 대응하는 기술개발이 미국등 선진국에서 활발히 진행되고 있으나, 국내업체는 국제적 환경안전 규제동향 정보취득에 취약하며 대처능력이 수동적인 실정이다. 최근에 관심을 모으고 있는 지구온난화의 주원인 인 PFC 방출량 감소를 위하여 국내반도체업계에서는 1997년도 기준 2010 년까지 PFC사용량을 10% 감축하기로 세계반도체산업협회(WSC)에서 합의하였다.

 

 

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