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[목차]

 

1. Mechanical properties of thin metal films„. Electrical Properties of metallic Thin Film…. Hall Effect & Hall 소자를 이용한 반도체 자기 센서†. Sputtering

 

 

 

Thin films의 강도를 결정하는데 여러가지 방법이 있다. High speed rotor test,bulge test,microtensile testing machine,전자현미경에서 사용하는 설비도 여기에 포함된다. 준비단계에서 문제가 발생하는데,thick film을 사용하면 많은 test machines,techniques이 쉽게 사용될 수 있으므로 시편의 mechanical property testing이 쉽다. 그러므로 thick film에서 측정된 기계적 성질의 스펙트럼이 thin film을 사용할 때보다 더 넓다.

 

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